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淺談CPU散熱器的發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)引言 過(guò)去的三十年見(jiàn)證了現(xiàn)代電子工業(yè)的個(gè)人電腦及其服務(wù)器的日新月異。同時(shí),由于增加的熱流體的散熱問(wèn)題嚴(yán)重阻礙了超級(jí)高性能的CPU的發(fā)展。目前,傳統(tǒng)的冷卻技術(shù),如風(fēng)冷,水冷和熱管依然在散熱領(lǐng)域扮演著主要的角色。這主要?dú)w因于這些技術(shù),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,冷卻效率高以及低成本。除此之外,一系列的新的和更高級(jí)的冷卻技術(shù)正在涌現(xiàn),比如說(shuō),微通道,離子風(fēng),壓電式翅片,磁性極化納米流體,以及微包裹體相變流體等。這些令人欣喜的策略具有獨(dú)一無(wú)二的優(yōu)勢(shì)以及一些甚至能夠處理極端高熱流體的條件。然而,對(duì)于大部分散熱的方式來(lái)說(shuō),一些技術(shù)問(wèn)題,比如復(fù)雜的制造工藝,高成本,以及可靠性問(wèn)題,離大規(guī)模的商業(yè)使用依然有很大的提升空間。 在許多的新創(chuàng)意中,液態(tài)金屬冷卻技術(shù)迅速成為了近年來(lái)最吸引人的散熱技術(shù)。它最典型的優(yōu)勢(shì)在于,液態(tài)金屬的高的熱物性以及它獨(dú)一無(wú)二的電磁驅(qū)動(dòng)特性。目前,基于金屬鎵的合金被認(rèn)為是最好的可用于該技術(shù)最好的材料。該合金的有低的熔點(diǎn)(<10℃),高的導(dǎo)熱率,無(wú)毒,高的沸點(diǎn),因此有了優(yōu)秀的冷卻能力和高的可靠性。 現(xiàn)在最常用的風(fēng)冷技術(shù)已經(jīng)達(dá)到了它的極限,隨著CPU芯片集成技術(shù)的發(fā)展,風(fēng)冷技術(shù)將無(wú)法滿足市場(chǎng)的要求。新型的液體金屬散熱方法雖然理論上具有很大的發(fā)展?jié)摿?,但昂貴的價(jià)格不利于大規(guī)模生產(chǎn),而且在實(shí)際應(yīng)用中其散熱效果并不理想,與目前最先進(jìn)的風(fēng)冷散熱器相比,并沒(méi)有完全處于優(yōu)勢(shì)地位。液體具有良好的流動(dòng)性和導(dǎo)熱性,因此液體散熱技術(shù)的應(yīng)用非常廣泛,成為各種臺(tái)式計(jì)算機(jī)及大型工作站散熱的首選,而且效果也明顯優(yōu)于常規(guī)的風(fēng)冷散熱。目前對(duì)于液體冷卻主要是研究其流道結(jié)構(gòu)和冷卻液成分,冷卻液主要包括水、納米流體、液體金屬。液態(tài)金屬的導(dǎo)熱系數(shù)最高,其次是納米流體,最后是水。謝開(kāi)旺提出在液體金屬中加入納米粉體,可以形成導(dǎo)熱系數(shù)更高的納米金屬流體。宋思洪等通過(guò)研究表明,不同功率下芯片溫度隨導(dǎo)熱系數(shù)的升高而降低,但導(dǎo)熱系數(shù)越高,芯片溫度降低的幅度越小,可見(jiàn)單純提高導(dǎo)熱系數(shù)并不能大幅提高冷卻液的散熱性能。因此,還需從冷卻液的其他熱物性方面入手(如提高比熱)來(lái)增強(qiáng)工質(zhì)的散熱性能,以期獲得一種具有較高導(dǎo)熱系數(shù)以及較大等效比熱的潛熱型低熔點(diǎn)液態(tài)金屬功能熱流體。 1 液體散熱技術(shù) CPU芯片過(guò)熱所導(dǎo)致的“電子遷移”是造成CPU內(nèi)部芯片損壞的主要原因。電子遷移是指電子流動(dòng)所引起的金屬原子遷移的現(xiàn)象。在芯片內(nèi)部電流強(qiáng)度很高的金屬導(dǎo)線上,電子的流動(dòng)會(huì)給金屬原子一個(gè)動(dòng)量,當(dāng)電子與金屬原子碰撞時(shí),可能會(huì)使金屬原子脫離金屬表面四處流動(dòng),導(dǎo)致金屬表面上形成坑洞或凸起,這是一個(gè)不可逆轉(zhuǎn)的永久性傷害。如果這個(gè)慢性過(guò)程一直持續(xù),則將最終造成內(nèi)部核心電路的短路或斷路,徹底損壞CPU。 液體冷卻是一種非常有效的散熱手段,被廣泛應(yīng)用在工業(yè)上,如強(qiáng)激光和高功率微波技術(shù)的散熱系統(tǒng)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的熱交換等。液體具有非常高的比熱容,可以在CPU 芯片的發(fā)熱部位吸收大量的熱,而且由于良好的流動(dòng)性,液體可以流動(dòng)到其他低溫部位再將熱量排出,這樣連續(xù)不斷地吸熱和散熱,保證了芯片部位一直處于較低溫度,從而達(dá)到保護(hù)芯片的目的。 表1 目前CPU芯片的散熱方式
常用的液體冷卻方式有三種:大器件的液體冷卻循環(huán)技術(shù)、熱管技術(shù)和霧化噴射冷卻技術(shù)。大器件的液體冷卻循環(huán)系統(tǒng)最常用,也已經(jīng)有多種產(chǎn)品問(wèn)世;熱管技術(shù)在筆記本電腦中的應(yīng)用較多,在臺(tái)式電腦中應(yīng)用較少;而液體噴射冷卻技術(shù)只見(jiàn)文獻(xiàn)報(bào)道,未見(jiàn)實(shí)際應(yīng)用。目前研究較多的冷卻液是水、液態(tài)金屬和納米流體。納米流體多用于汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的冷卻,其優(yōu)異的傳熱性能備受關(guān)注,在電子芯片散熱方面也有很大的發(fā)展?jié)摿Α?/span> 2 液體散熱器的結(jié)構(gòu) 2.1 常用液冷循環(huán)系統(tǒng) 通常的液體散熱器即大器件的液體循環(huán)冷卻系統(tǒng)如圖1所示,由一根出水管、一根進(jìn)水管和與芯片接觸的蓄水槽組成。其中蓄水槽的部分是最重要的部分,其內(nèi)部構(gòu)造決定散熱效果的優(yōu)劣,以微槽通道聯(lián)通液體循環(huán)的路徑。另外液體的循環(huán)需要外加動(dòng)力源,于是在系統(tǒng)中還必須要有一個(gè)水泵給液體施加壓力,使其流動(dòng)起來(lái)。 圖1 常用液冷循環(huán)系統(tǒng)示意圖 如果電腦發(fā)熱量較大或需要長(zhǎng)時(shí)間大負(fù)荷運(yùn)行,還可在散熱器的冷凝段加風(fēng)扇,用以加速液體的冷卻,但這樣做也會(huì)產(chǎn)生負(fù)面影響,如耗電、傳送距離短、有噪音、體積大、安裝麻煩等。為了解決外接動(dòng)力源,達(dá)到節(jié)能的目的,可以使用電滲流微泵(EOF-micro-pump)作為流體驅(qū)動(dòng)裝置,微通道冷卻系統(tǒng)(Micro-channel cooling system)就是一種具有非常理想的散熱效率的裝置,系統(tǒng)的最大散熱功率超過(guò)200W,完全能夠滿足芯片的散熱要求。電滲泵原理如圖2所示。 圖2 電滲泵原理圖 楊濤對(duì)多孔介質(zhì)電滲泵性能進(jìn)行了研究,分析了電滲泵的流率和壓力,研究證明電滲泵符合液體冷卻系統(tǒng)的要求。電滲泵基于電滲作用驅(qū)動(dòng)電解液向前流動(dòng),稱之為電滲流,可在液體中利用其中的離子進(jìn)行能量轉(zhuǎn)換,使液體流動(dòng)。這種方法可以很好地實(shí)現(xiàn)外加動(dòng)力、減小體積和方便安裝等功能目標(biāo)。電滲泵無(wú)可移動(dòng)部件,性能優(yōu)良,是微流體系統(tǒng)首選的驅(qū)動(dòng)泵。 2.2 霧化噴射冷卻系統(tǒng) 霧化噴射冷卻是通過(guò)霧化噴管借助高壓氣體(氣助噴射)或依賴液體本身的壓力(壓力噴射)使液體霧化,將其強(qiáng)制噴射到發(fā)熱物體表面,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體的有效冷卻技術(shù)。霧化噴射冷卻是大量霧化后的微小液滴群撞擊被冷卻壁面的行為,該物理過(guò)程的換熱機(jī)理十分復(fù)雜,眾多影響因素相互牽連,給實(shí)驗(yàn)研究帶來(lái)了很大困難。霧化噴射冷卻的簡(jiǎn)化示意圖如圖3所示。霧化噴射冷卻是一種非常有前景的高熱流強(qiáng)制冷卻技術(shù),其換熱強(qiáng)烈,具有很高的臨界熱流密度值(CHF),且冷卻均勻,適用于一些對(duì)溫度要求很嚴(yán)格的領(lǐng)域(如在微電子、激光技術(shù)、國(guó)防、航天技術(shù)等),并顯出獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)和重要性。液體噴射冷卻是一種利用液體吸收熱量并依靠液體良好的流動(dòng)性帶走熱量的高傳熱率的散熱手段,當(dāng)液流噴射速度達(dá)到47m/s時(shí),其散熱能力高達(dá)1700,該技術(shù)已應(yīng)用于冶金、化工等多種工業(yè)過(guò)程中。劉天軍設(shè)計(jì)了一種基于疊堆式壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)流體對(duì)芯片底層進(jìn)行噴射冷卻的冷卻器,疊堆式壓電陶瓷微位移器與壓電薄膜相比,具有位移分辨率高、頻響高、承載力大的優(yōu)點(diǎn)。這種方法對(duì)電子元器件的冷卻效果非常理想,可以使器件表面的溫度降低到所要求的溫度,而且冷卻的速度非???,能夠滿足電子元器件持續(xù)增加的發(fā)熱功率對(duì)散熱的要求。但對(duì)于電子元器件而言,冷卻液還需具有惰性、絕緣性和優(yōu)良的導(dǎo)熱性,同時(shí)散熱器也應(yīng)具有完善的封裝技術(shù)。 圖3 霧化噴射簡(jiǎn)化示意圖 目前此項(xiàng)技術(shù)還處于理論研究階段,理論分析還不夠深入,主要依靠實(shí)驗(yàn)?zāi)M手段,還難以達(dá)到工業(yè)化生產(chǎn)的目標(biāo)。 2.3 熱管冷卻系統(tǒng) 熱管是一種非常有效的傳熱元件,其原理簡(jiǎn)單,基本工作原理如圖4所示。 圖4 熱管工作示意圖 典型熱管由管殼、吸液芯和端蓋組成,將管內(nèi)抽成0.13×10-0.13Pa的負(fù)壓后充入適量的冷卻液,使緊貼管內(nèi)壁的吸液芯(毛細(xì)多孔材料)中充滿液體,然后加以密封。管的兩端分為蒸發(fā)段和冷凝段,二者可以互換。當(dāng)熱管的一端受熱時(shí),液體蒸發(fā)汽化,蒸汽在微小的壓差下流向溫度較低的另一端,放出熱量后凝結(jié)成液體,液體再沿多孔材料依靠毛細(xì)力作用流回蒸發(fā)段,形成循環(huán),熱量就由熱管的一端傳至另一端。由于在蒸發(fā)端,液體經(jīng)過(guò)毛細(xì)孔時(shí)會(huì)出現(xiàn)彌散效應(yīng),王補(bǔ)宣等進(jìn)行了平行平板間填充球粒填料的傳熱特性實(shí)驗(yàn)研究,發(fā)現(xiàn)平行平板間填充小顆粒球粒具有較好的強(qiáng)化傳熱效果,與不填充填料時(shí)相比,其對(duì)流換熱系數(shù)一般增加3-5倍。 表2 三種散熱器件的對(duì)比
由表2可知,三種散熱技術(shù)中,普通的水冷散熱循環(huán),原理簡(jiǎn)單、技術(shù)要求低,容易規(guī)模化生產(chǎn),但散熱效果相對(duì)較差,雖能夠滿足較高要求的計(jì)算機(jī)散熱,但難以適應(yīng)未來(lái)計(jì)算機(jī)芯片的高速發(fā)展。熱管技術(shù)的工藝要求相比液體噴射系統(tǒng)低許多,且技術(shù)成熟度明顯高于后者,散熱效果也明顯優(yōu)于普通液冷循環(huán)系統(tǒng),因此熱管技術(shù)應(yīng)該是未來(lái)計(jì)算機(jī)冷卻散熱系統(tǒng)的首選。倘若液體噴射系統(tǒng)的技術(shù)更加成熟,工藝要求更加簡(jiǎn)單,則很有可能取代熱管系統(tǒng)。 3冷卻液材料 3.1 水 目前關(guān)于液冷散熱的研究,大多采用水作為冷卻液。水作為最常用的液體工質(zhì),具有非常高的比熱容和優(yōu)異的流動(dòng)性,且非常廉價(jià),因此具有很強(qiáng)的實(shí)用性。常用液冷材料的一些熱物性如表3所示。 表3 常用液冷材料的一些熱物性
從表3可以看出,水是比較理想的冷卻液材料,但若能在水中添加少許乙二醇、丙三醇等粘度較大的液體,可改善水的性能,提高其比熱容、導(dǎo)熱系數(shù),降低揮發(fā)性,從而改善冷卻效果,使水冷散熱器的散熱效果更加顯著,提高其開(kāi)發(fā)和應(yīng)用價(jià)值。 3.2 液態(tài)金屬 利用金屬液體作為散熱工質(zhì)最早應(yīng)用在核反應(yīng)堆的熱傳導(dǎo)上。2002年,華中科技大學(xué)劉靜提出其在CPU芯片散熱方面的應(yīng)用,隨后引起多方關(guān)注,國(guó)內(nèi)外普遍圍繞液態(tài)金屬作為冷卻液展開(kāi)研究。2013年華中科技大學(xué)鄧越光對(duì)實(shí)驗(yàn)的液態(tài)金屬的原型的關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。熱傳導(dǎo)回路中的電磁泵和翅片散熱器是影響冷卻系統(tǒng)的表現(xiàn)的關(guān)鍵因素。經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)比較,盡管液態(tài)金屬的散熱效果在熱功率低于100W時(shí)僅次于熱管,但是,在加熱功率在400W或更高時(shí),液態(tài)金屬有更好的散熱性能。圖5、6 為電磁泵及其原理示意圖。液態(tài)金屬目前的工作主要包括降低液態(tài)金屬的熔點(diǎn),研究液態(tài)金屬的粘度、導(dǎo)熱系數(shù)、比熱容等熱物性和驅(qū)動(dòng)方式及尋找新的液態(tài)金屬成分以降低成本等方面。2005年,第一家液體金屬散熱器公司Dynamics成立,2008年,第一代液態(tài)金屬散熱器LM-10問(wèn)世,后來(lái)又有其升級(jí)版問(wèn)世。 圖5 典型的電磁泵 圖6 泵內(nèi)流體的路徑示意圖 表4 鎵銦合金液態(tài)金屬與水的部分熱物性
液態(tài)金屬是熔點(diǎn)特別低的金屬如Na、K、Ga、In等形成的合金,其在常溫甚至零度以下也保持液體形態(tài),從而能夠代替水等常規(guī)冷卻液。由于金屬的導(dǎo)熱系數(shù)遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于水,液態(tài)金屬的流動(dòng)性能也非常出眾,同時(shí)熔點(diǎn)也可以降低到零度以下,與水相比其使用范圍更廣,因此液態(tài)金屬有很大的潛力。鎵銦合金液態(tài)金屬與水的熱物性比較如表4所示。 為進(jìn)一步提高液態(tài)金屬的導(dǎo)熱性能,馬坤全等根據(jù)納米流體理論,以液態(tài)金屬為基液,添加納米顆粒,配制成納米流體。由于大多數(shù)固體材料的導(dǎo)熱系數(shù)均大于液體,因此由顆粒和流體組成的混合物導(dǎo)熱系數(shù)將高于液體本身的導(dǎo)熱系數(shù),而且液態(tài)金屬的密度大,可以使納米流體的顆粒含量更高且不易沉降,同時(shí)系統(tǒng)也更加穩(wěn)定,導(dǎo)熱性能比其他基液的納米流體更強(qiáng),制備以液態(tài)金屬為基液的納米流體是目前研制導(dǎo)熱性最強(qiáng)的終極冷卻劑的技術(shù)途徑。另外,液態(tài)金屬還可采用電磁驅(qū)動(dòng)的方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng),這種驅(qū)動(dòng)方式無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,具有可靠性高、振動(dòng)噪聲小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、功耗小、可控性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。液態(tài)金屬的優(yōu)勢(shì)非常突出,同時(shí)缺點(diǎn)也很明顯,即價(jià)格昂貴。而相對(duì)低廉的Na、K合金又具有極大的危險(xiǎn)性,用Ga、In做成的散熱器LM-10的價(jià)格是目前最好的風(fēng)冷散熱器的3倍以上,但散熱效果卻沒(méi)有明顯改善,不具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。 3.3納米流體 在普通冷卻液(水、乙醇等)中添加納米液滴,可以增強(qiáng)其導(dǎo)熱性。2006年馬里蘭大學(xué)帕克學(xué)院機(jī)械工程系的Yang.b和Han,Z.H.等考察了納米液滴添加到FC-72(全氟化學(xué)品)中對(duì)其傳熱能力的增強(qiáng)效果,其中液滴直徑約9.8nm,體積分?jǐn)?shù)為12%,測(cè)得的有效熱導(dǎo)率增加了52%。由于FC-72常用于浸入式芯片散熱的工質(zhì),添加納米液滴到這種介質(zhì)中可望提高芯片的冷卻效果。由于固體顆粒具有比液體高幾個(gè)數(shù)量級(jí)的導(dǎo)熱性能,因此添加固體納米顆粒配制成的溶液,其導(dǎo)熱系數(shù)要比普通的純液體高出許多。表5是多種納米材料與水的導(dǎo)熱系數(shù)的對(duì)比。 表5 多種納米材料與水的導(dǎo)熱系數(shù)
納米流體是指在液體基液中加入金屬、金屬氧化物或非金屬的納米顆粒配制而成的較穩(wěn)定的懸浮液。Eastman等通過(guò)氣相沉積法制備了Cu-機(jī)油、CuO-水、Al3O2-水等幾種納米流體,通過(guò)靜置實(shí)驗(yàn)及電鏡觀察發(fā)現(xiàn),納米流體懸浮液中粒子分散性較好、懸浮穩(wěn)定性較高,納米流體可穩(wěn)定懸浮一周左右,且有效導(dǎo)熱系數(shù)比其固相提高了40-150%。郭守柱等發(fā)現(xiàn)在液體中加入磁性納米顆粒,在磁場(chǎng)的作用下可使液體導(dǎo)熱系數(shù)提高300%。納米流體在熱力學(xué)上是一個(gè)不穩(wěn)定的系統(tǒng),懸浮著的顆粒終究會(huì)因團(tuán)聚而沉降,因此延長(zhǎng)顆粒物的懸浮時(shí)間便是一個(gè)非常重要的研究方向。楊雪飛通過(guò)對(duì)SiO2納米顆粒進(jìn)行表面改性,使SiO2表面形成“Si-O-Si”的穩(wěn)定結(jié)構(gòu),從而制備出懸浮穩(wěn)定性能優(yōu)異的納米流體,系統(tǒng)的穩(wěn)定時(shí)間超過(guò)一年。金屬單質(zhì)的導(dǎo)熱性能非常好,但納米級(jí)別的金屬單質(zhì)具有危險(xiǎn)性,因此應(yīng)該在它們的氧化物中尋找更加合適的納米粉體。目前對(duì)納米流體的研究主要集中在系統(tǒng)穩(wěn)定性和納米粉體種類的選擇上,其中碳納米管、納米SiO2、納米CuO。 4 結(jié)束語(yǔ) 計(jì)算機(jī)芯片的發(fā)熱量不斷增加,傳統(tǒng)的風(fēng)冷散熱方式會(huì)被逐漸淘汰,功能更加強(qiáng)大的液體冷卻方式將成為主流。散熱器件和冷卻液的性能直接影響著散熱效果的好壞。常用散熱循環(huán)系統(tǒng)、熱管和液體噴射系統(tǒng)三者各有優(yōu)點(diǎn),但就目前來(lái)看,普通液冷循環(huán)系統(tǒng)更占優(yōu)勢(shì);熱管系統(tǒng)應(yīng)該在降低成本和簡(jiǎn)化工藝上做進(jìn)一步的研究,其很有可能成為主流器件;而液體噴射技術(shù)則需要在簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)和理論分析上做進(jìn)一步的研究。水作為CPU散熱的冷卻液材料目前還能滿足要求,但長(zhǎng)遠(yuǎn)來(lái)看,純水將被納米流體和液態(tài)金屬所替代。液態(tài)金屬雖具有優(yōu)于納米流體的導(dǎo)熱系數(shù),但其高昂的價(jià)格難以讓普通消費(fèi)者接受,且性價(jià)比不高,降低成本和提高潛熱等熱物性將是其主要的研究方向。納米流體具有很好的導(dǎo)熱系數(shù)和較大的比熱容,將會(huì)是未來(lái)CPU散熱冷卻液材料最合適的選擇,其下一步的研究重點(diǎn)應(yīng)放在提高穩(wěn)定性和導(dǎo)熱系數(shù)等熱物性上。 參考文獻(xiàn) [1]劉靜,周一欣.以低熔點(diǎn)金屬或其合金作流動(dòng)工質(zhì)的芯片散熱用散熱裝置:中國(guó),02131419[P].2004-0414 [2] Darvid marshall. Dynamics LMX Liquid metal cooler review. [EB/OL]. (2009-12-27)[2012-04-12]. http://clunk.org.uk/dynamics-lmx-liquid-metal-cooler-review.html [3] jiang P X, wang Z, Ren Z P, et al. Eperimental reserch of fluid flow and convection heat transfer in plate channels filled with glass or metaliic particles[J]. Exp Therm Fluid Sci, 1999,20:45 [4]孫濤,高學(xué)農(nóng),歐陽(yáng)燦. 液冷式CPU散熱器的傳感強(qiáng)化劑流阻性能[J].流體機(jī)械,2011(1):57 [5]謝開(kāi)旺,劉靜.一種具有高傳熱性能的混有顆粒的金屬液體的制備方法:中國(guó),200710176433.2[P]2009-04-29 [6]宋思洪,廖強(qiáng),沈衛(wèi)東.采用低熔點(diǎn)液態(tài)金屬工質(zhì)散熱的熱沉傳熱數(shù)值模擬[J].機(jī)械工程學(xué)報(bào),2011,47(14):146 [7]Tan C M, Zhang G. Overcoming intrinsic weakness of ULSI metallizaion electromigration performances [J]. Thin Solid Films, 2004,462:263 [8]劉東,劉明候,王亞青,等.帶擾流微細(xì)槽冷卻系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)研究[J].強(qiáng)光與粒子束,2011,23(1):25 [9]白敏麗,喜娜,孫志君,等.用于CPU冷卻的集成熱管散熱器[J].高技術(shù)通訊,2006,16(7):713 [10]Chen haisheng, Yangwei, He yurong, et al. Heat transfer and flow behaviour of aqueous suspensions of titanate nanotubes (nanofluids) [J].Power Techn,2008,183;63 [11] Jiang Linan, Mikkelsen J, Koo Jae-Mo, et al. Closed-loop electroosmotic micro-channel cooling system for VLSI circuits [J]. IEEE Trans Compon Packging Techn, 2002,25(3):34 [12] Yueguang Deng and Jing Liu. Optimization and evalution of a High-performance Liquid Metal CPU Cooling Product [J]. IEEE Trans Compon Packging and Manufacturing Technology, VOL.3,No.7,July 2013 |
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